I.Was ist Trockenfilm-Photoresist?
Trockenfilm-Fotoresist (lichtempfindlicher Trockenfilm) ist ein unverzichtbares lichtempfindliches Material in PCB-HerstellungEs besteht aus einer dreischichtigen Struktur: einer Trägerschicht aus Polyesterfolie (PET), einer lichtempfindlichen Schicht aus Photopolymer und einer Schutzschicht aus Polyethylen (PE). Durch fotochemische Reaktionen überträgt es Schaltkreisentwürfe präzise auf kupferkaschierte Laminate und ermöglicht so die Herstellung von Schaltkreismustern im Mikrometerbereich.
II.Vergleichende Analyse: Trockenfilm vs. Flüssigphotoresist
Charakteristisch | Trockenfilm-Photoresist | Flüssiger Photoresist |
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Einheitlichkeit | Hoch, Dickenschwankung < ±5 % | Niedriger, je nach Beschichtungsverfahren |
Auflösung | Bis zu 10 μm Linienbreite | Bis zu 5 μm Linienbreite |
Einfacher Betrieb | Niedrig vereinfacht den Prozessablauf | Hoch, erfordert genaue Kontrolle der Beschichtungsparameter |
Auswirkungen auf die Umwelt | Weniger Abwasser erzeugt | Hoher Verbrauch an organischen Lösungsmitteln |
Anwendbare Kartentypen | HDI, Mehrschichtplatten, flexible Platten | Ultrapräzisionsplatten, Halbleitergehäuse |
III.Detaillierter Arbeitsablauf bei Trockenfilm-Photoresist
3.1 Phase der Oberflächenvorbereitung
Leiterplattensubstrate müssen mechanisch oder chemisch gereinigt werden, um Oberflächenoxide und Verunreinigungen zu entfernen und eine Trockenfilmhaftung zu gewährleisten. Typische Reinigungsverfahren sind:
- Alkalische Entfettung (5–10 %ige NaOH-Lösung, 50–60 °C)
- Mikroätzung (Na₂S₂O₈/H₂SO₄-System)
- Säurewäsche und Neutralisation (5 %igeH₂SO₄-Lösung)
- Trocknen (80–100 °C, 10–15 Minuten)
3.2 Optimierung der Parameter des Laminierprozesses
Die Laminierung ist ein entscheidender Schritt zur Gewährleistung der Trockenfilmqualität.Die empfohlenen Parameter sind wie folgt:
Parameter | Bereich | Auswirkungen |
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Temperatur | 105–125 °C | Ein zu hoher Wert führt zu übermäßigem Fluss, ein zu niedriger Wert beeinträchtigt die Haftung. |
Druck | 0,4-0,6MPa | Sorgt für gleichmäßige Haftung und vermeidet Blasenbildung |
Geschwindigkeit | 1,0-2,5m/min | Beeinträchtigung der Produktionseffizienz und Qualitätsstabilität |
Härte der Walzen | 80-90 Shore A | Übermäßige Härte kann zu Folgeschäden führen |
3.3 Auswahl der Belichtungstechnologie
Wählen Sie die Belichtungsmethoden entsprechend den Anforderungen an die Leiterplattenpräzision:
- Kontakt BelichtungGeeignet für eine Linienbreite von ≥50μm
- NäherungsexpositionGeeignet für eine Linienbreite von 25–50μm
- LDI Direkte BildgebungGeeignet für ultrahochpräzise Schaltungen mit einer Strukturbreite von weniger als 25 μm.
IV. Auswirkungen der Dicke auf die PCB-Leistung
4.1 Standarddickenspezifikationen und Anwendungsszenarien
Dicke (mil/μm) | Anwendbare PCB-Typen | Linienbreite/Abstandskapazität | Typische Anwendungsszenarien |
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0,8/20 μm | Flexible FPC-Platten | 10/10 μm | Smartphones, tragbare Geräte |
1,2/30 μm | Inner Layer Boards | 20/41 μm | Konventionelle Mehrschichtplatten-Innenlagen |
1,5/38 μm | Äußere Schicht Bretter | 30/60 μm | Leistungsplatinen, Automobilelektronik |
2,0/50 μm | Besondere Gremien | 60/60 μm | Hochstromplatten, dicke Kupferplatten |
4.2 Einfluss der Dicke auf die Prozessqualität
- Genauigkeit der Musterübertragung: Eine Erhöhung der Dicke um 10% führt zu einer Erhöhung der Abweichung der Linienbreite um 3-5%.
- Ätz-Effekt: Eine zu dicke Schicht erhöht den Unterschnitt; eine zu dünne Schicht verringert die Ätzbeständigkeit.
- Leistung der Beschichtung: Beeinflusst die Gleichmäßigkeit der Kupferdicke in den Löchern
- Kosten-FaktorenEine Erhöhung der Dicke um 20% erhöht die Materialkosten um 15-18%.
V. Trockenfilm-Photoresist-Auswahlhilfe
5.1 Bewertung der wichtigsten Leistungsparameter
Bei der Auswahl des Trockenfilm-Fotoresists müssen die folgenden Parameter umfassend berücksichtigt werden:
RLS-Dreieck Balance:
- Auflösung: Minimale erreichbare Merkmalsgröße
- Linienbreite Rauhigkeit: Indikator für die Kantenglättung
- Empfindlichkeit: Erforderliche Mindestexpositionsdosis
Andere Schlüsselparameter:
- Kontrast: ≥3,0 (idealer Wert)
- Entwicklungsbreite: ≥30 %
- Thermische Stabilität: ≥150 °C
- Dehnung: ≥50 %
5.2 Leitfaden zum Abgleich von Anwendungsszenarien
Anwendungsbereich | Empfohlener Typ | Besondere Anforderungen |
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HDI-Tafeln | Hochauflösender Typ | Auflösung ≤15 μm, hohe chemische Beständigkeit |
Flexible Tafeln | Hochelastischer Typ | Dehnung ≥80 %, geringe Spannung |
Hochfrequenz-Platten | Typ mit niedrigem Dielektrikum | Dk ≤3,0, Df ≤0,005 |
Kfz-Elektronik | Hochtemperatur-Typ | Hitzebeständigkeit ≥160 °C |
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VI. Methoden zur Kontrolle der Entwicklungszeit
6.1 Faktoren, die die Entwicklungszeit beeinflussen
Faktor | Ebene der Auswirkungen | Kontrollmethode |
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Entwickler-Konzentration | Hoch | Beibehaltung der Spanne von 0,8-1,2% |
Temperaturschwankung | Hoch | Optimaler Bereich: 23 ± 1 °C |
Sprühdruck | Mittel | Einstellbarer Bereich: 1,5-2,5bar |
Geschwindigkeit des Förderbandes | Hoch | Einstellung je nach Dicke (1-3m/min) |
6.2 Plan zur Optimierung der Entwicklungszeit
Positiver Photoresist: 30-90 Sekunden (empfohlen: 60 Sekunden)
Negativer Photoresist: 2-5 Minuten (empfohlen: 180 Sekunden)
Kontrollieren Sie die Position des Entwicklungspunkts bei 40-60% des Entwicklungsabschnitts
Überprüfen Sie regelmäßig den pH-Wert des Entwicklers (10,5-11,5)
VII. Anwendungsszenarien und Fallstudien
7.1 Herstellung von HDI-Platten (High-Density Interconnect)
Mit Trockenfilm-Fotolack lassen sichfeine Linien ≤30 μm in HDI-Platinen herstellen,wodurch 3+-stufige HDI-Strukturenunterstützt werden.Eine Fallstudie zu Smartphone-Motherboards hat gezeigt,dass mit 1,2 mil Trockenfilmeine stabile Produktion von 25/25 μm Linienbreite/Abstand mit einer Ausbeute von98,5 % erreicht wurde.
7.2 Flexible Leiterplattenanwendungen
Im Bereich der flexiblen Leiterplattenbietet Trockenfilm-Fotolack die erforderlicheFlexibilität und Haftung. Ein renommierter Herstellervon Wearables verwendete einen speziellen flexiblen Trockenfilm mit einer Stärke von0,8 mil,um eine Linienbreite von 10 μmzu erreichen und 1 Million Biegetests zubestehen.
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VIII. Technologische Trends und Innovationen
8.1 Photoresist-Technologien der nächsten Generation
- Chemisch verstärkte Photoresists (CAR): 3-5fach verbesserte Empfindlichkeit
- Nanoimprint-Lithographie Photoresists: Unterstützung <10nm Merkmalgrößen
- Umweltfreundliche wasserentwickelbare Photoresists90%ige Reduzierung der VOC-Emissionen
8.2 Marktausblick
Branchenberichten zufolge wird der Produktionswert von Halbleiter-Leiterplatten in China bis 2026 voraussichtlich 54,6 Mrd. USD erreichen, was eine durchschnittliche jährliche Wachstumsrate von 8,5 % für die Nachfrage nach Trockenfilm-Fotoresisten bedeutet. Für High-End-Produkte wie LDI-spezifische Trockenfilme wird ein Wachstum von über 15 % erwartet.
Schlussfolgerung
Als zentrales Material in der Leiterplattenherstellung wirken sich die Auswahl und Anwendung von Trockenfilm-Fotoresist direkt auf die Leistung und Qualität der Endprodukte aus.Durch die Optimierung der Schichtdickenauswahl, die strenge Kontrolle der Entwicklungsprozesse und die Auswahl geeigneter Typen auf der Grundlage spezifischer Anwendungsanforderungen können die Hersteller die Produktionseffizienz und den Produktertrag erheblich verbessern. Da der Trend bei elektronischen Geräten zur Miniaturisierung und höheren Dichte geht, wird die Trockenfilm-Photoresist-Technologie weiterhin innovativ sein, um die immer strengeren Prozessanforderungen zu erfüllen.